ASML is de grootste chipfabrikant ter wereld. Een prachtig artikel in de NRCvan Marc Hijink over hun nieuwste machine van 14 x 4 meter omvang, de High-NA. Ik beperk me hier tot de belangrijkste maten en gewichten. Alles is overtreffend!
Het masker dat de blauwdruk van de chip bevat versnelt met 32G, 32 maal de zwaartekracht. Ik denk niet dat mijn lichaam dat zou doorstaan.
De gangbare lensopening van een lithografiemachine is 0,33 NA, die van de High-NA is 0,55NA.
De gangbare machines komen tot details van 13 tot 18 Angström, de High-NA tot 8NM, 8 miljoenste van een millimeter.
De nauwkeurigheid van de laagjes van een chip bedraagt tot wel 0,9NM bij de High-NA.
De High-NA heeft de omvang van een tussenwoning en meet 4 x 14meter.
De High-NA weegt 150.000KG.
De High-NA past in 13 grote containers plus nog eens 240 kratten die met elkaar in 7 grote vrachtvliegtuigen vervoerd worden. Hoeveel onderdelen er precies zijn is niet exact bekend, het moet in de miljoenen lopen. ASML zelf spreekt van honderdduizenden onderdelen.
Dat laatste vind ik dan weer opmerkelijk. Je zou zeggen dat men bij dit soort apparaten exact weet hoeveel onderdelen elke component bevat. Grijpvoorraad (bouten en moeren etc) mag je dan buiten beschouwing laten. En o ja, dat ding kost ergens rond de 400 miljoen Euro.
Geen opmerkingen:
Een reactie posten